지식재산 다봄

TXZ

출원번호56-2008-0007756
등록번호40-0405760
상태등록
출원일2008-03-14
등록일2008-10-06
상품류제7류

지정상품

제7류
  • 반도체웨이퍼가공처리기계기구
  • 반도체웨이퍼가공처리기계기구용 지지대
  • 반도체웨이퍼가공처리용 물리기상증착리액터
  • 반도체웨이퍼가공처리용 이온주입기
  • 반도체웨이퍼가공처리용 플라즈마에처(plasma etchers)
  • 반도체웨이퍼가공처리용에피텍셜리액터(epitaxial reactors)
  • 반도체웨이퍼가공처리용화학기상증착리액터
  • 반도체웨이퍼가공처리용화학머케니컬연마기(chemical mechanical polisher)

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