ENLIGHT
| 출원번호 | 40-2023-0204275 |
|---|---|
| 상태 | 출원 |
| 출원일 | 2023-11-10 |
| 상품류 | 제9류 |
지정상품
제9류
- 전자빔 장비 즉 반도체 제조 과정에서 반도체 웨이퍼의 결함을 검사 및 분석하는데 사용되는 전자현미경의 성격을 지닌 광학적 결함 검사장비 (Electron beam tool, namely, optical defect inspection equipment in the nature of an electron microscope used for inspecting and analyzing defects on semiconductor wafers during semiconductor manufacturing)
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