LITHIUS Pro DICE
| 출원번호 | 40-2021-7026156 |
|---|---|
| 등록번호 | 40-2000321 |
| 상태 | 등록 |
| 출원일 | 2021-05-24 |
| 출원공고일 | 2023-01-26 |
| 등록일 | 2023-04-01 |
| 상품류 | 제7류 |
지정상품
제7류
- 반도체 제조용 반도체 웨이퍼 상의 노광된 포토레지스트 개발 장비
- 반도체 제조용 반도체 웨이퍼 상의 포토레지스트 코팅장치
- 반도체 제조용 실리콘 웨이퍼 전달장치
- 반도체 제조용 실리콘 웨이퍼용 가열장치
- 반도체 제조용 실리콘 웨이퍼용 냉각장치
- 반도체제조기계
- 평면패널 디스플레이 제조용 디스플레이 기판 상의 노광된 포토레지스트 개발 장비
- 평면패널 디스플레이 제조용 디스플레이 기판 상의 포토레지스트 코팅장치
- 평면패널 디스플레이 제조용 디스플레이 기판 전달장치
- 평면패널 디스플레이 제조용 디스플레이 기판용 가열장치
- 평면패널 디스플레이 제조용 디스플레이 기판용 냉각장치
- 평면패널디스플레이 제조기계