SDS
| 출원번호 | 40-2019-7008505 |
|---|---|
| 등록번호 | 40-1617153 |
| 상태 | 등록 |
| 출원일 | 2019-04-01 |
| 출원공고일 | 2020-04-02 |
| 등록일 | 2020-06-18 |
| 상품류 | 제1류, 제6류, 제9류 |
지정상품
제1류
- 반도체제조용 및 기타 산업공정용 고체 흡착재를 가진 가스공급용기에서 제공되는 흡착가스
제6류
- 흡착된 가스가 저장되고, 용기에서의 분배를 위해 가스가 탈착되는 고체 흡착재가 있는 금속제 가스공급 용기
제9류
- 기체유량 제어 및 모니터장치
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