지식재산 다봄

VANTAGE RADIANCE

출원번호40-2019-0029647
등록번호40-1644571
상태등록
출원일2019-02-26
출원공고일2020-05-20
등록일2020-09-18
상품류제7류, 제9류

지정상품

제7류
  • 반도체 제조공정용 이온주입장치
  • 반도체 제조공정용 물리증착반응기(장비)
  • 반도체 제조공정용 화학증착반응기(장비)
  • 반도체웨이퍼 가공장비(Semiconductor wafer processing equipment)
  • 플라즈마 에칭 리액터(장비)
  • 화학적 기계적 연마장치(chemical mechanical polishers)
제9류
  • 반도체웨이퍼 검사장비
  • 반도체웨이퍼 검사장비용 제어장치
  • 반도체웨이퍼 진단장비
  • 에피택셜리액터용 운영소프트웨어(Operational software for epitaxial reactors)