AERIS

지정상품

• 환경적 제어장치 즉 열펌프(반도체 웨이퍼 가공처리과정에 있어 오염조절을 위한 가스, 매연, 폐수 및 액체류의 처리 및 완화를 위한 온도제어된 유체를 제공하기 위한 것)
• 환경적 제어장치 즉 프로세스 냉각기(반도체 웨이퍼 가공처리과정에 있어 오염조절을 위한 가스, 매연, 폐수 및 액체류의 처리 및 완화를 위한 온도제어된 유체를 제공하기 위한 것)[Environmental control apparatus, namely, heat pumps and process chillers that provide temperature controlled fluid to the treatment and abatement of process gases, fumes, effluents, and liquids in the semiconductor wafer fabrication process for pollution control purposes]