지식재산 다봄

ETERNA CORONA UV

출원번호40-2018-0098194
등록번호40-1545320
상태등록
출원일2018-07-17
출원공고일2019-08-20
등록일2019-11-19
상품류제7류

지정상품

제7류
  • 유동성 화학기상증착시스템용 실리콘 디스크 경화장치
  • 유동성 화학기상증착시스템용 웨이퍼 경화장치
  • 유동성 화학기상증착시스템용 박막 경화장치
  • 유동성 화학기상증착시스템용 반도체기판 경화장치