지식재산 다봄

NOVA

출원번호40-2017-7007674
등록번호40-1550661
상태등록
출원일2017-03-08
출원공고일2019-09-11
등록일2019-12-04
상품류제9류

지정상품

제9류
  • 반도체 제조의 공정제어용 컴퓨터 운영프로그램
  • 반도체 제조의 공정제어용 컴퓨터소프트웨어
  • 반도체 제조의 공정제어용 컴퓨터하드웨어
  • 샘플의 물리적 크기, 필름의 두께의 모니터링, 측정 및 검사용 및/또는 반도체 제조의 공정제어를 위한 재료의 화학성분 분석용 측정장치

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