지식재산 다봄

NP Quad FLEX

출원번호40-2017-0165125
등록번호40-1437455
상태등록
출원일2017-12-22
출원공고일2018-11-13
등록일2019-01-16
상품류제7류

지정상품

제7류
  • 가스분리기
  • 반도체 제조용 원격 플라즈마 발생기(Remote Plasma Generator)
  • 반도체제조용 라디칼 발생기
  • 플라즈마 표면처리장비