지식재산 다봄

HARRIER

출원번호40-2014-0007796
등록번호40-1080191
상태등록
출원일2014-02-05
출원공고일2014-10-17
등록일2015-01-08
상품류제7류

지정상품

제7류
  • 기판세정장치
  • 기판에칭장치
  • 박막증착장치
  • 반도체 제조용 산화막 성막장치
  • 반도체 제조용 질화처리장치
  • 반도체제조기
  • 반도체제조용검사기
  • 반도체조립기
  • 웨이퍼처리기
  • 플라즈마 이온도핑장치
  • 화학기상증착장치

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