VULCAN
| 출원번호 | 40-2003-0016626 |
|---|---|
| 등록번호 | 40-0610524 |
| 상태 | 등록 |
| 출원일 | 2003-04-14 |
| 출원공고일 | 2004-11-17 |
| 등록일 | 2005-03-07 |
| 상품류 | 제7류 |
지정상품
제7류
- 반도체제조공정용CMP(CHEMICAL MECHANICALPOLISHING)장치
- 반도체제조공정용검사장치
- 반도체제조공정용노광장치
- 반도체제조공정용소형소각로
- 반도체제조공정용식각장치
- 반도체제조공정용온도조절장치
- 반도체제조공정용폐가스처리장치
- 반도체제조공정용화학기상증착장치
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