ULTIMA HDP CVD
| 출원번호 | 40-1997-0043974 |
|---|---|
| 등록번호 | 40-0443552 |
| 상태 | 등록 |
| 출원일 | 1997-09-18 |
| 출원공고일 | 1998-11-16 |
| 등록일 | 1999-03-09 |
| 상품류 | 제7류, 제9류 |
지정상품
제7류
- 감광코팅 및 현상기
- 반도체웨이퍼가공진단 및 제어기
- 반도체웨이퍼가공처리기계기구
- 반도체웨이퍼가공처리기계기구용 지지대
- 이온주입기
- 플라즈마에처
- 화학머케니컬연마기
제9류
- 물리기상증착리액터
- 에피텍셜리액터
- 화학기상증착리액터
| 출원번호 | 40-1997-0043974 |
|---|---|
| 등록번호 | 40-0443552 |
| 상태 | 등록 |
| 출원일 | 1997-09-18 |
| 출원공고일 | 1998-11-16 |
| 등록일 | 1999-03-09 |
| 상품류 | 제7류, 제9류 |