ASYST

지정상품

• 반도체 웨이퍼/자기 미디어 및 평면 패널 디스플레이 제조시 오염 방지 기계 기구 (systems used to protect semiconductor wafers, magnetic media and flat panel displays from contamination in a manufacturing environment)
• 반도체 웨이퍼/자기 미디어 처리/평면 패널 디스플레이 등의 공정 작업 관리 통제 기계 기구 (control systems for the management of work-in-progress for semiconductor wafer, magnetic media processing and flat panel displays)
• 반도체 웨이퍼/자기 미디어/평면 패널 디스플레이의 제조 저장시 트랙킹 및 루팅 과정을 수행하는 반도체 제조 기계 기구 (systems for tracking and routing semiconductor wafers, magnetic media and flat panel displays during manufacturing and storage)
• 반도체 웨이퍼/자기 미디어/평면패널 디스플레이 등의 제조 및 저장용 표준 기계 접속 기계 기구 (Standard Mechanical Interface systems for semiconductor wafer, magnetic media ad flat panel display manufacturing and storage)
• 반도체/자기 미디어/평면 패널 디스플레이 등의 저장 및 운송 기계 기구 (systems used to store and transport semiconductors, magnetic media and flat panel displays)
• 시일드 웨이퍼 카셋트 용기/가공 장비 인클로우저/전자동 로봇 운송 장치/수동 운송 장치로 구성된 반도체 제조 기계 기구 (systems including sealed wafer cassette containers, processing equipment enclosures, fully-automated robotic and human guided transfer equipment)

• 청정실 내부의 습도/온도/오염 자동 조절 기계 기구 (Systems for controlling humidity, temperature and contamination in cleanroom minienvironments)

• 반도체. 자기미디어. 평면패널 디스플레이 등의 저장 및 운송기계기구
• 반도체웨이퍼. 자기미디어 및 평면패널 디스플레이 제조시 오염방지기계기구
• 반도체웨이퍼. 자기미디어. 평면패널 디스플레이 등의 제조 및 저장용 표준 기계접속기계기구
• 반도체웨이퍼. 자기미디어. 평면패널 디스플레이의제조 저장시트랙킹및 루팅과정을 수행하는 반도체제조기계 기구
• 청청실 내부의 습도. 온도. 오염 자동조절기계기구